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靶材绑定基础知识

发布时间:2020年04月13日 | 围观人数:3882

一、什么是绑定

绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式:压接、钎焊和导电胶。靶材绑定常用钎焊,钎料常用In、Sn、In –Sn,一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/㎝2。

二、为什么要绑定

1、防止靶材受热不匀碎裂,例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及烧结靶材;

2、节省成本,防止变形,如靶材太贵,可将靶材做薄些,绑定背靶以防止变形。

三、背靶的选择

1、常用无氧铜,导电性好,无氧铜的导热性比紫铜好;

2、厚度适中,一般建议背靶厚度3mm左右。太厚,消耗部分磁强;太薄,容易变形。

四、绑定过程

1、绑定前将靶材和背靶表面预处理
2、将靶材和背靶放置在钎焊台上,升温到绑定温度
3、将靶材和背靶金属化
4、粘接靶材和背靶
5、降温和后处理 

五、绑定靶材使用的注意事项

1、溅射温度不宜太高

2、电流要缓慢加大

3、循环冷却水应低于35摄氏度

4、适宜的靶材致密度

六、背靶脱落的原因

1、溅射温度高,背靶易被氧化和发生翘曲,靶材在高温溅射时会开裂,造成背靶脱落;

2、电流太大,导热太快造成温度过高,焊料熔化,造成焊料不均匀,造成背靶脱落;

3、循环冷却水出水口的温度应低于35摄氏度,循环水温度高,造成散热不好而脱落;  

4、靶材本身的致密度,靶材的致密度很高时,不易吸附,无空隙,背靶易脱落。


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